洁净室设计标准

注：①每个采样点应至少采样3次；
　　②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性；
　　③根据工艺要求确定1~2种粒径；
　　④各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式确定，要求的粒径在0.1~5μm范围，包括0.1μm及5μm。

式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（pc/m3）。Cn是以四舍五入到相近的整数，有效位数不超过三位数。
　　　N——洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。
　　　D——要求的粒径（μm）。
　　　0.1——常数，其量纲为μm。